Lindfors, Jukka (2000-12-13)
Tässä työssä on etsattu 880 ja 670 nm:n aallonpituuksille suunniteltuja pintaemittoivia virtuaalikaviteettilaser-rakenteita. Käytetty etsausmenetelmä oli reaktiivinen ionietsaus, ja etsauskaasuna oli piitetrakloridi. Työssä ...