Atomaarisen vedyn konsentraatiomittauksen kalibrointi timanttikalvon kasvatusprosessissa

Abstract

Timantin kasvattaminen CVD (Chemical Vapor Depostion) -prosessissa on ollut tutkimuksen kohteena jo parin vuosikymmenen ajan. Yksi kasvua karakterisoivista tekijöistä on atomaarisen vedyn määrän vaihtelut lähellä kasvatuspintaa. Kvantitatiiviset mittaukset mahdollistavat kasvuprosessin kemian paremman ymmärtämisen ja antavat vertailutietoa prosessin mallintamista varten. Tämän työn suurin osuus on titrausreaktioon perustuvan kalibrointimenetelmän toteutus ja tutkiminen. Kalibrointia on käytetty hyväksi määritettäessä atomaarisen vedyn konsentraatiojakaumia erilaisissa CVD-timantin kasvuolosuhteissa. Mittauksia tehtiin 1-, 3- ja 5-lankaisessa kuumalankareaktorissa. Jakaumia mitattiin useasta eri kohdasta substraatin ja kuumalangan väliltä. /Kir10