| Files | Size | Format | View |
|---|---|---|---|
|
There are no files associated with this item. |
|||
| URN: | http://URN.fi/URN:NBN:fi:tty-200907103495 |
| Title: | AlxGa1-xAs-rakenteiden terminen märkäoksidointi ja sen soveltaminen resonanttikomponenttien valmistukseen |
| Author: | Saarinen, Mika |
| Publication type: | Diplomityö |
| Issue date: | 1999-06-09 |
| University: | Tampereen teknillinen korkeakoulu |
| Faculty: | Sähkötekniikan osasto |
| Department: | Fysiikan laitos |
| Abstract: | Työ käsittelee alumiinipitoisten yhdistepuolijohteiden termisen märkäoksidoinnin soveltuvuutta puolijohde-emitterikomponenttien valmistuksessa. Menetelmän avulla pystytään muuttamaan puolijohdemateriaalien rakenteellisia, optisia ja sähköisiä ominaisuuksia. Työssä esitellään märkäoksidoinnin teoreettista mallinnusta, soveltuvuutta komponenttien valmistukseen, menetelmän mahdollisia sovlluskohteita ja tulevaisuudennäkymiä. /Kir10 |