AlxGa1-xAs-rakenteiden terminen märkäoksidointi ja sen soveltaminen resonanttikomponenttien valmistukseen
Näytä kaikki kuvailutiedot
Tiedostot
|
Tähän julkaisuun ei ole liitetty tiedostoja.
|
|
URN:
|
http://URN.fi/URN:NBN:fi:tty-200907103495
|
|
Nimeke:
|
AlxGa1-xAs-rakenteiden terminen märkäoksidointi ja sen soveltaminen resonanttikomponenttien valmistukseen |
|
Tekijä:
|
Saarinen, Mika |
|
Julkaisun tyyppi:
|
Diplomityö |
|
Julkaisuaika:
|
1999-06-09 |
|
Yliopisto:
|
Tampereen teknillinen korkeakoulu |
|
Tiedekunta:
|
Sähkötekniikan osasto |
|
Laitos:
|
Fysiikan laitos |
|
Tiivistelmä:
|
Työ käsittelee alumiinipitoisten yhdistepuolijohteiden termisen märkäoksidoinnin soveltuvuutta puolijohde-emitterikomponenttien valmistuksessa. Menetelmän avulla pystytään muuttamaan puolijohdemateriaalien rakenteellisia, optisia ja sähköisiä ominaisuuksia. Työssä esitellään märkäoksidoinnin teoreettista mallinnusta, soveltuvuutta komponenttien valmistukseen, menetelmän mahdollisia sovlluskohteita ja tulevaisuudennäkymiä. /Kir10 |
Viite kuuluu kokoelmiin:
Näytä kaikki kuvailutiedot