| Files | Size | Format | View |
|---|---|---|---|
|
There are no files associated with this item. |
|||
| URN: | http://URN.fi/URN:NBN:fi:tty-200907103611 |
| Title: | DHP-kuparin hapettumakerrosten karakterisointi : kehittyneet mittausmenetelmät |
| Author: | Vähänen, Marjut |
| Publication type: | Diplomityö |
| Issue date: | 1999-09-08 |
| University: | Tampereen teknillinen korkeakoulu |
| Faculty: | Sähkötekniikan osasto |
| Department: | Fysiikan laitos |
| Abstract: | Työssä sovelletaan röntgenviritteistä fotoelektronispektroskopiaa teollisesti valmistettujen kuparinäytteiden hapettumakerrosten karakterisointiin. Tutkimuskohteina ovat DHP (Deoxidised High Phosphorus)- ja OFOK (Oxygen Free High Conductivity)-kuparin hapettumakerrosten rakenteelliset ja koostumukselliset erot Rodex-pursotusprosessissa käytettyjen parametrien muuttuessa. |